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 科学技术  
硅基高K氧化物锶硅界面缓冲层的研究
发布日期:2020-09-14   浏览次数:
  • 书名:硅基高K氧化物锶硅界面缓冲层的研究

  • 书号:978-7-5684-1030-4

  • 作者:杜文汉 著者

  • 开本:1/32

  • 书类:学术专著

  • 定价:35元

详细介绍:

Sr/Si界面在晶形高介电常数(k)氧化物-半导体体系的外延生长中具有重要的作用, 是形成外延高k氧化物必不可少的缓冲界面层。本书深入研究了不同Sr/Si再构表面的几何及电子结构,并探讨相关的物理机制。

 
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