书名：RF MEMS器件与技术
书号：978-7-5684-1723-5
作者：郭兴龙, 编著
开本：1/16
定价：48.00元
分类号：TN4
出版时间：2021年11月
简介：RF MEMS（射频微机电系统）是MEMS（Micro Electromechanical System,微机电系统）技术的重要应用领域之一。本书内容覆盖了RF MEMS的理论、设计和大部分RF MEMS器件，RF MEMS技术可望实现和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、处理、传输、处理和执行于一体的系统集成芯片（SOC）成为可能。本书适合高等院校微电子技术、微波技术、集成电路专业、电子科学与技术、电子信息专业、微机电系统（MEMS）技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读使用。